Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen (IPA-IAO - Forschung und Praxis 149 Band 149)

Bücher | Recht
Autor: Sauter, Klaus-Dieter
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
ISBN: 3540532366
ISBN13: 9783540532361
Einband: Taschenbuch
Zustand: Gut
Aufl. 1990, Bibliotheksexemplar * Einband: leichte Lagerspuren * Seiten: wie ungelesen, wenige Anmerkungen/Hervorhebungen